Ang Inert Atmosphere Oven, na tinatawag ding Anaerobic ovens, ay idinisenyo para sa heat treatment gamit ang non-oxidizing gases gaya ng nitrogen sa isang sealing environment, ito ay angkop para sa heat treatment sa ilalim ng low oxygen concentration na kapaligiran.
Description
Ang Inert Atmosphere Oven series ay ginagamit sa paggawa ng semiconductor para sa pretreatment baking ng mga silicon wafer, gallium arsenide, lithium niobate, salamin bago ang PR coating, hard film baking pagkatapos ng PR coating, at high-temperature baking pagkatapos ng pagbuo; Ito ay angkop din para sa mga departamento ng produksyon at siyentipikong pananaliksik, tulad ng electronic liquid crystal display, LCD, CMOS, IS at mga laboratoryo; maaari din itong gamitin para sa pagpapatuyo, pagpoproseso ng init, pagtanda at iba pang mga pagsubok na may mataas na temperatura ng mga bagay na hindi pabagu-bago, hindi nasusunog at hindi sumasabog.
Pangunahing Parameter
►Mga teknikal na parameter
Kapasidad: Na-customize ayon sa mga produkto
Saklaw ng Temperatura: Ambient+50°C ~ 250°C
Nilalaman ng Oxygen: ≤50ppm
Pagkakatulad ng Temperatura: ±2.5%
Ramp-up Rate: Nakokontrol
Nitrogen Inlet: Φ8
Daloy ng nitrogen: 0-240L/min * 2 channel
►Istruktura
. Panloob na oven: Ginawa sa hindi kinakalawang na asero at walang putol na hinangin ng argon gas.
. Hermetically sealed: Ang chamber ay selyadong para mabawasan ang oxygen level.
. Air intake structure: Nagbibigay-daan sa mga non-oxidizing gas na mapuno ang chamber.
. O2 analyzer: Tumpak na ayusin ang mga antas ng oxygen sa pagitan ng 0.5~ 21%
► Sistema ng pagkontrol sa temperatura
Intelligent JAPAN RKC temperature controller, mga programa at setting ng value ng fix, AT auto-tuning, offset correction, at power-off retention.
► Sapilitang air convection
Ang patentadong air duct sa sistema ng sirkulasyon ng mainit na hangin ay maaaring awtomatikong ayusin ang pagkakaisa ng temperatura.
Mga tampok para sa anaerobic (Inert) oven
► Hermetically sealed stainless steel studio upang maiwasan ang pagpasok ng panlabas na kapaligiran
► Gumamit ng nitrogen inert gas para sa anaerobic heat treatment
► Ang flow meter at pressure gauge ay nilagyan
► Mga aparatong pangkaligtasan ng maraming proteksyon
Mga pagpipilian
► PLC+7” na programmable na controller
► Tatlong kulay na kumikislap na ilaw na alarma
► Over-temperatura limiter
► Manu-manong mga kagamitang pangkaligtasan
Bakit pipiliin ang Inert Atmosphere Ovens?
Ngayon, ang mga materyales sa mga kable sa mga circuit ay lumipat mula sa aluminyo hanggang sa tanso na may mas mababang resistivity. Samakatuwid, kapag pinainit sa isang normal na drying oven, ang mga bahagi ng tanso ay maaaring mag-oxidize, na magdulot ng mga depekto. Bilang karagdagan, ang 250 deg C aging ay ginagawa din upang suriin kung ang data na nakasulat sa flash memory ay tinanggal dahil sa electromigration, at kung ang mga bahagi ng bump ay na-oxidize, kaya ang nilalaman ng oxygen ay dapat na bawasan sa <100ppm. Ang anaerobic oven na ito ay binuo upang matugunan ang mga pangangailangang ito.
Aplikasyon
Ang mga Inert Atmosphere Oven ay pangunahing ginagamit para sa BPO glue/PI glue/BCB glue curing, IC (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, high-precision electronic component at iba pang materyales sa isang low oxygen na kapaligiran para sa pagpapatuyo at pagtanda ng mga pagsubok .
